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前往原文新凯来在本届Semicon China上带来的四大类（扩散、刻蚀、薄膜和量检测）产品展示涵盖了EPI、RTP、ETCH、CVD、PVD、ALD、光学量检测、PX量测和功率检测应用在内的三十款左右设备。
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新凯来在本届Semicon China上带来的四大类（扩散、刻蚀、薄膜和量检测）产品展示涵盖了EPI、RTP、ETCH、CVD、PVD、ALD、光学量检测、PX量测和功率检测应用在内的三十款左右设备。
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上海SEMICON China 2025半导体展期间，国产芯片设备公司“新凯来”发布6大类31款新品，覆盖刻蚀产品、扩散产品、薄膜产品以及物理量测、X射线量测、光学量检测6大类。 具体来说，新凯来正在利用多重图形曝光等技术提升芯片制造工艺，公布包括外延沉积EPI设备（峨眉山系列）、原子层沉积ALD设备（阿里山系列）、物理气相沉积PVD设备（普陀山系列）、刻蚀ETCH设备（武夷山系列）、薄膜沉积CVD设备（长白山系列）和量检测设备(包括岳......
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