用18吨的光刻机，刻一首28纳米的诗

如何用18吨重的光刻机，刻出28纳米的汉字？ 这一次是我们的芯片工艺实例讲解—— 28纳米“字程”：OPC与SMO （光学邻近效应修正与光源掩模协同优化） 我们的字程还将继续，一键三连就拜托了！

当地时间周二，光刻机巨头阿斯麦(ASML.US)原定于周三公布的财报意外提前发布。

近日，工业和信息化部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》通知。据“工信微报”介绍，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。 值得注意的是，在重大技术装备文件列表中包含了国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩(ArF)光刻机（65nm）的内容。 氟化氪（KrF）和氟化氩（ArF）两种气体均服务于深紫外（DUV）光刻机，产生深紫外光的准分子激光器。并且氟化氩光刻机和氟化氪光刻机两者均属于DUV光刻机。 ......