中国公布 DUV 光刻机的突破，具有怎样的历史意义？

近日，工业和信息化部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》通知。据“工信微报”介绍，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。 值得注意的是，在重大技术装备文件列表中包含了国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩(ArF)光刻机（65nm）的内容。 氟化氪（KrF）和氟化氩（ArF）两种气体均服务于深紫外（DUV）光刻机，产生深紫外光的准分子激光器。并且氟化氩光刻机和氟化氪光刻机两者均属于DUV光刻机。 目前来说，光刻机共经历了五代的发展，从最早的436nm波长，再到第二代光刻机开始使用波长365nm i-line，第三代则是 248nm 的 KrF 激光，第四代就是193nm 波长的ArF光刻机，属于干式DUV光刻机。重大“芯”突破！国产DUV光刻机问世，相关概念股集体大涨-手机金融界工业和信息化部关于印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》的通知